Micro-Flow（微流量）傳感器技術的一種特殊形式叫做 Mass Extraction（質量提取）技術，是為了達到更高的靈敏度，在真空條件下進行測試。該方法結合傳感器設計，在連續體/滑流條件（淺真空）和過渡/分子流狀態（較高真空）下運行。該技術還可用于包裝或電子機箱等密封容器的泄漏測試。
使用質量流量技術在真空條件進行的空氣泄漏測試
還可進一步設置，例如，直接連接 UUT。將被測單元置于壓力條件低至 1 mbar 或更低的真空室中。在腔室抽真空之后，腔室和真空容器之間的余流可用于確定被測零件的泄漏率。 憑借該方法，靈敏度可達 7 · 10-7 mbar · l/s。
ATC （真空質量提取法） 檢漏儀 產品特點
特別適用于密封物體（例如 CCIT*）
不使用示蹤氣體的無損檢測
非常高的靈敏度——檢測低至 7 · 10-7 mbar · l/s (<2 μm) 的泄露率
用于更大缺陷的獨立粗略泄露測試——快速可靠地檢測略粗泄露
受環境變化的影響最小——大大減少了環境變化造成的虛假結果
高準確性——允許設定較高產率的閾值，而不會有通過不良部分的風險
可重復性——減少虛假故障，這是一個代價非常高的問題
對零件尺寸不敏感——一臺裝置適合多種尺寸的零件，降低風險和時間
無需每日校準—具有可追溯測試泄漏的穩定測試條件
在行業中獲得認可，如制藥 USP <1207>——簡單的工藝驗證